膜厚計測、厚さに適した測定、解析方法
http://www.jasco.co.jp/jpn/technique/SIZE/thickness.html
【概要】
光学的な膜厚計測は、誘電体膜や半導体膜と様々な物性の膜に適応可能であり、サブnm から数μmの膜厚までの広い計測範囲を持つという優れた特長があります。 さらに、非破壊・非接触で計測できることから広く用いられています。 それぞれの膜圧測定、解析方法と解析方法には原理上の違いがあるので、 予測される膜厚・膜の層数や膜と基板の材質に合わせて、適切に選択することが重要です。
膜厚計測、厚さに適した測定、解析方法
http://www.jasco.co.jp/jpn/technique/SIZE/thickness.html
